IMP工藝氣體傳輸控制柜
離子注入（IMP:-mplant）通過精確控制離子能量、注入劑量和溫度等參數，可以實現對材料表面性能的優化和新性能的獲取，為半導體、材料科學、生物醫學等領域的發展提供了有力支持。離子注入工藝氣體傳輸控制柜是離子注入設備的重要組成部分，它負責在離子注入過程中精確控制氣體的流量、壓力等關鍵參數，以滿足離子注入工藝對氣體供應的嚴格要求。該控制柜集成了高精度的流量控制、壓力調節以及安全保護功能，確保離子注入工藝的穩定性和安全性。
咨詢專家
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產品特點
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產品參數
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質量管理
產品特點
高精度流量控制
流量控制器和壓力調節器采用高精度設計，能夠確保氣體流量和壓力的精確控制
通過對氣路部分設計滿足客戶對小流量、低壓力的氣體流量控制，最終滿足客戶的工藝要求
安全穩定性
氣柜配有門互鎖開關、壓力安全開關、單向閥、手動進切斷閥等安全部件保證氣柜安全
設備采用全304不銹鋼，外觀30mm以上圓弧過渡設計保證良好導電性，提高了設備的安全性能。
高氣密性
產品采用IGS和VCR接口形式
實現半導體設備的高氣密性
模塊化
采用模塊化設計，設備結構緊湊、模塊化設計
便于維護和更換部件。nm以上的顆粒雜質
安全認證
通過SEMI S6測試安全認證
產品參數
| 外漏測試漏率 | ≤1.0X10-11/mbar·L/s |
| 內漏測試漏率 | ≤1.0X10-9/mbar·L/s |
| 保壓測試50psi | 氮氣保壓測試，保壓12h，壓降 ≤1% |
| 氦爆測試漏率 | ≤1.0X10-9/mbar·L/s;（可選） |
| 顆粒測試 | (5 particle @ >0.1um) |
| 水氧測試 | 水含量≤10PPB，氧含量≤10PPB；（可選） |
質量管理
富創質量管理秉承"好的質量是設計、制造出來的"為原則,關注客戶端到端的質量服務,從研發、設計、過程全生命周期質量管理關注各環節中入口質量、過程質量、出口質量,以保證整體質量可控,最終構建成以以預防為主的質量文化,助力客戶產品更具競爭力。
