ETCH工藝氣體傳輸控制柜
薄膜沉積、光刻、刻蝕三大工藝是最關鍵的環節，而刻蝕（etch）作為其中的重要一步，對技術和工藝的要求非常高。ETCH工藝氣體傳輸控制柜是刻蝕設備氣源控制的核心部件。
咨詢專家
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產品特點
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產品參數
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質量管理
產品特點
高精度流量控制
通過采用壓力式質量流量控制器設計，實現復雜氣路控制、氣體混配
通過氣路的最優設計，實現死區最小化；氣體流經最小化，以減小氣體流動波動對整體的影響，以及對控制精度的影響
安全穩定性
氣柜配有門互鎖開關、壓力安全開關、單向閥等安全部件保證氣柜安全
設備采用防爆、防腐等設計，提高了設備的安全性能
高氣密性
產品采用IGS和VCR接口形式實現半導體設備的高氣密性
高潔凈度
采用高精度過濾器能夠去除3nm以上的顆粒雜質
安全認證
通過SEMI S6測試安全認證
產品參數
| 外漏測試漏率 | ≤1.0X10-11/mbar·L/s |
| 內漏測試漏率 | ≤1.0X10-9/mbar·L/s |
| 保壓測試50psi | 氮氣保壓測試, 保壓12h,壓降 ≤1% |
| 氦爆測試漏率 | ≤1.0X10-9/mbar·L/s;（可選） |
| 顆粒測試 | (5 particle @ >0.1um) |
| 水氧測試 | 水含量≤10PPB，氧含量≤10PPB；（可選） |
質量管理
富創質量管理秉承"好的質量是設計、制造出來的"為原則,關注客戶端到端的質量服務,從研發、設計、過程全生命周期質量管理關注各環節中入口質量、過程質量、出口質量,以保證整體質量可控,最終構建成以以預防為主的質量文化,助力客戶產品更具競爭力。
