陰極固定底盤裝置
主要應用于Etch設備，該產(chǎn)品配合升降機構(gòu)、工藝氣體傳輸及射頻傳輸?shù)认到y(tǒng)裝配，對陰極位置進行固定，并起到接地作用。
咨詢專家
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產(chǎn)品特點
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產(chǎn)品參數(shù)
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質(zhì)量管理
產(chǎn)品特點
高精密
高精尺寸的設備零件是半導體芯片特別是納米級芯片制造的基礎
零部件精度直接決定了晶圓制程設備的精度以及其各道工藝處理功能的實現(xiàn)
高潔凈度
高潔凈的設備零部件是晶圓工藝制程得到良品率的基礎
制程設備的潔凈度直接決定了在制晶圓及后續(xù)芯片的良品率，甚至決定了整條生產(chǎn)線是否有合格品產(chǎn)出
高耐腐蝕
高耐腐蝕的設備零部件是芯片制程設備的功能需求
零件的耐腐蝕性能決定了設備的功能性、可靠性、和設備在線停機維護的頻次高低
產(chǎn)品參數(shù)
| 材料 | 鋁合金 |
| 表面處理 | 陽極氧化 |
質(zhì)量管理
富創(chuàng)質(zhì)量管理秉承"好的質(zhì)量是設計、制造出來的"為原則,關(guān)注客戶端到端的質(zhì)量服務,從研發(fā)、設計、過程全生命周期質(zhì)量管理關(guān)注各環(huán)節(jié)中入口質(zhì)量、過程質(zhì)量、出口質(zhì)量,以保證整體質(zhì)量可控,最終構(gòu)建成以以預防為主的質(zhì)量文化,助力客戶產(chǎn)品更具競爭力。
